华越电子公司这次对新蓝科技公司的闪存颗粒进行了第一轮工程流片，已经拿出了数量极少的工程样品，但0.18微米制程还不成😁熟，尝试实验流片下，良品率低的要死，连续做了五张晶圆后经测试只得到11片合格产品。
“把样品拿过来给我看一下。”杨杰说道，徐少秋等人眼中闪过亮光，急忙让技术人员📑将🛋🚲样品拿了过来。
华越电子公司有内部锅炉，会议室室里面温暖如春，，杨杰对着电脑☾将样品在电子显微镜🛋🚲下拍摄的一张张照片用幻灯机投在屏幕上，芯片上以纳米为单位的微结构被🕸🎚👪放大如斗，在看了很多张照片后，他心中已经有数了。
“这些照片大家开会前都已经看过，对栅极埋入层的形貌结构心里也都有数了，我来给大家分析一下，看看和大家自己做出的分析是不☮🂱是一样。”
看着几十双眼睛看着自己，杨杰也是说出了自己的看法：“我们这次工🃫🚭🖫程流片之所以会出现大批不能读写的次品，良品率极低，主要原因虽然🎝💃有目前的0.18微米实验制程不成熟的原因，但再怎么不成熟，良品率也不能这么低。刚才我看了一下照片，真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”
会议室里徐工也是松了口气，这次负责攻关0.18微米制程工艺的负责人是他，他也是担🛃🙮心自己在技术路线上出现了重大问题。
“大家看这张电镜探伤图，左边是这次的良品，右边是这次的不合格品，左边正常形态下的埋入层扩散结构和右边的区别是很明显的，我知道大家现在一定在想，为🕸🎚👪什么会出现右📢🜤🄅边这些次品🌏♲🌙？问题出在哪呢？”
会议室里面很多技术人员也是踊跃发言。
“刚才这位黄海波判断的不🕝🕝错，这个情况确实跟我们扩散层离子注入工序有问题。”
这位被🀧⚶点到名的技♹🍑术人员眼中露🐶出惊喜的神色。
“那么我问你，这道🜳🆎🎞工序到底出现了什么问题👀🅰？”杨杰追问道。
这个技术人员却是回答不上来。
“杨少，难☫道🁉🄁是注入机的真空度问🁿🛊题？”徐少秋问道。
“不错，就是注入机的真空度不够，从而引起埋入扩散层的氧化膜厚度中间薄周边厚，薄的部分隔离差，造成中🅦间漏电。”
台下工程师们有的表情恍然大悟，有的则是兴👀🅰奋地点头，表示不出🔯🄈所料，杨杰的判断和他们一样。